《Journal Of Micro-nanolithography Mems And Moems》由SPIE出版社出版，是工程：电子与电气领域的国际权威期刊。自2007年创刊以来，该刊始终致力于发表物理与天体物理领域的原创性、前瞻性研究成果，尤其关注物理与天体物理领域的理论、政策与实践。该刊被SCIE数据库收录，在JCR学科，按JIF指标学科分区学科“ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC”中位于Q3区；“MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY”中位于Q3区；“NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY”中位于Q4区；“OPTICS”中位于Q3区；中国科学院期刊分区为大类物理与天体物理2区，小类工程：电子与电气3区。此外，在CiteScore学科分类中，该刊在“Mechanical Engineering”小类中位列Q2区，排名299 / 672，显示出在工程：电子与电气领域的突出影响力。

作为一本非开放获取期刊，《Journal Of Micro-nanolithography Mems And Moems》2023年发文量在0篇，研究类论文占比为0.00%。期刊最新影响因子为0 ，CiteScore为3.4，学术影响力持续稳健。该刊面向全球研究者，为探讨工程：电子与电气领域提供了高水平的学术交流平台。