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Journal Of Vacuum Science & Technology A期刊
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Journal Of Vacuum Science & Technology A

SCIE

《Journal Of Vacuum Science & Technology A》创刊于1983年，是一本材料科学国际学术期刊，出版语言为English，年发文量333。预计审稿周期约 一般,3-6周 ，近三年曾被列入预警期刊名单。

中科院 3区
JCR Q3
Citescore 5.1
TOP期刊 否
ISSN: 0734-2101
出版地区: UNITED STATES
E-ISSN: 1520-8559
出版周期: Bimonthly
出版商: AVS Science and Technology Society
创刊时间: 1983年
国际简称: J VAC SCI TECHNOL A
出版语言: English
研究方向: 材料科学：膜-工程技术
中文名称: 真空科学与技术学报

Journal Of Vacuum Science & Technology A杂志简介

《Journal Of Vacuum Science & Technology A》由AVS Science and Technology Society出版社出版，是材料科学：膜领域的国际权威期刊。自1983年创刊以来，该刊始终致力于发表材料科学领域的原创性、前瞻性研究成果，尤其关注材料科学领域的理论、政策与实践。该刊被SCIE数据库收录，在JCR学科，按JIF指标学科分区学科“MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS”中位于Q3区；“PHYSICS, APPLIED”中位于Q3区；按JCI指标学科分区学科“MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS”中位于Q3区；“PHYSICS, APPLIED”中位于Q2区；中国科学院期刊分区为大类材料科学3区，小类材料科学：膜3区。此外，在CiteScore学科分类中，该刊在“Condensed Matter Physics”小类中位列Q2区，排名135 / 434，显示出在材料科学：膜领域的突出影响力。

作为一本非开放获取期刊，《Journal Of Vacuum Science & Technology A》2023年发文量在333篇，研究类论文占比为97.60%。期刊最新影响因子为2.4 ，CiteScore为5.1，学术影响力持续稳健。该刊面向全球研究者，为探讨材料科学：膜领域提供了高水平的学术交流平台。

WOS期刊JCR分区（2023-2024年最新版）

按JIF指标学科分区 收录子集 分区 排名 百分位
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS SCIE Q3 13 / 23

45.7%
PHYSICS, APPLIED SCIE Q3 96 / 179

46.6%
按JCI指标学科分区 收录子集 分区 排名 百分位
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS SCIE Q3 12 / 23

50%
PHYSICS, APPLIED SCIE Q2 88 / 179

51.12%

CiteScore（2025年最新版）

CiteScore数据趋势图

  • CiteScore：5.1
  • SJR：0.569
  • SNIP：0.957
学科 分区 排名 百分位
大类：Physics and Astronomy 小类：Condensed Matter Physics Q2 135 / 434

69%
大类：Physics and Astronomy 小类：Surfaces and Interfaces Q2 19 / 57

67%
大类：Physics and Astronomy 小类：Surfaces, Coatings and Films Q2 45 / 132

66%

Journal Of Vacuum Science & Technology A中国科学院期刊分区

中国科学院期刊分区趋势图

中国科学院期刊分区 （2023年12月升级版）

大类学科 小类学科 Top期刊 综述期刊
材料科学
3区
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS 材料科学：膜 PHYSICS, APPLIED 物理：应用
3区 3区
否 否

中国科学院期刊分区 （2022年12月升级版）

大类学科 小类学科 Top期刊 综述期刊
材料科学
2区
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS 材料科学：膜 PHYSICS, APPLIED 物理：应用
3区 3区
否 否

中国科学院期刊分区 （2021年12月旧的升级版）

大类学科 小类学科 Top期刊 综述期刊
材料科学
3区
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS 材料科学：膜 PHYSICS, APPLIED 物理：应用
3区 3区
否 否

Journal Of Vacuum Science & Technology A高引用文章

  • Review Article: Stress in thin films and coatings: Current status, challenges, and prospects

    引用次数：72

  • Status and prospects of plasma-assisted atomic layer deposition

    引用次数：26

  • Practical guides for x-ray photoelectron spectroscopy: First steps in planning, conducting, and reporting XPS measurements

    引用次数：23

  • Functional model for analysis of ALD nucleation and quantification of area-selective deposition

    引用次数：19

  • Review Article: Catalysts design and synthesis via selective atomic layer deposition

    引用次数：16

  • Paradigm shift in thin-film growth by magnetron sputtering: From gas-ion to metal-ion irradiation of the growing film

    引用次数：14

  • Review Article: Atomic layer deposition for oxide semiconductor thin film transistors: Advances in research and development

    引用次数：14

  • Atomic layer deposition of silicon-based dielectrics for semiconductor manufacturing: Current status and future outlook

    引用次数：13

  • Review Article: Crystal alignment for high performance organic electronics devices

    引用次数：12

  • Vapor-deposited octadecanethiol masking layer on copper to enable area selective Hf3N4 atomic layer deposition on dielectrics studied by in situ spectroscopic ellipsometry

    引用次数：11

Journal Of Vacuum Science & Technology A学术指标

年份 影响因子 年发文量 引文指标 自引率 CiteScore
2023 2.4 - 333 - 0.55 - 12.5 - 5.1 -
2022 2.9 - 254 - 0.57 - 10.3 - 4.9 -
2021 3.234 - 269 - 0.57 - 15.1 - 4.4 -
2020 2.427 - 293 - 0.48 - 17.8 - 3.9 -
2019 2.166 - 218 - 0.5 - 17.2 - 3.7 -
2018 1.833 - 227 - 0.5 - 14.4 - 3.3 -

国家/地区发文量

国家/地区 发文量
USA 368
Japan 77
GERMANY (FED REP GER) 61
South Korea 56
France 44
Sweden 33
CHINA MAINLAND 31
England 29
Finland 26
Netherlands 26

机构发文量统计

机构 发文量
UNITED STATES DEPARTMENT OF ENERGY (DOE) 58
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS) 30
UNITED STATES DEPARTMENT OF DEFENSE 26
LINKOPING UNIVERSITY 25
UNIVERSITY OF ILLINOIS SYSTEM 24
UNIVERSITY OF CALIFORNIA SYSTEM 20
CEA 18
UNIVERSITY OF TEXAS SYSTEM 17
UNIVERSITY SYSTEM OF MARYLAND 17
LAM RESEARCH CORPORATION 16
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